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      大气压等离子体技能的实质也就是气体放电原理，在电场效果下被击穿而导电，由此  发生的电离气体叫做气体放电等离子体[3]。我们把大气压等离子体分为平衡(热)或非平衡(冷)等离子体两大类。现在低气压等离子体己在资料处理范畴得到广泛应用，低温等离子废气治理，该种等离子体可发生用来刻蚀或堆积薄膜的高浓度活性粒子，但是在运行低气压等离子体时也存在一些缺点，像真空体系贵重却需求修理，低温等离子废气设备批发，处理资料的尺寸遭到真空室巨细的约束。大气压等离子体与低气压等离子体相比，具有本钱低、操作方便、*高本钱的真空体系等长处。

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质谱法就是使用电场以及磁场运动的离子，低温等离子废气净化设备供货商，根据质荷比分离之后进行查验。只要用质谱法测出了离子的质量就可以知道该化合物的组成。对离子进行剖析就可以知道该化合物的化学结构以及分子量，裂解规则等重要信息。